


Bearbeitung keramischer Materialien
Industriekeramiken verfügen über eine Reihe herausragender Eigenschaften wie Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und Erosionsbeständigkeit. Sie können Metalle und organische Polymere in rauen Arbeitsumgebungen ersetzen und sind in der traditionellen industriellen Transformation, in aufstrebenden Industrien und in Hightech-Bereichen unverzichtbar geworden. Sie bieten breite Anwendungsmöglichkeiten in der Energie-, Luft- und Raumfahrt-, Maschinenbau-, Automobil-, Elektronik- und Chemieindustrie. Zu den gängigen Industriekeramiken gehören Aluminiumoxidkeramik (Al2O3), Zirkonoxidkeramik (ZrO2), Aluminiumnitridkeramik (AlN), Siliziumnitridkeramik (Si3N4) und Siliziumkarbidkeramik (SiC).
Verschiedene Bearbeitungsmaterialien aus Keramik
| Material | Einführung | Bild |
|---|---|---|
| Al2O3 | Aluminiumoxid ist eine weiße oder beige Keramik, die ihre hervorragenden elektrischen Isolationseigenschaften nutzt. Seit seiner frühen Anwendung in verschiedenen elektronischen Bauteilen ist es weit verbreitet und gilt als das kostengünstigste Material in der Präzisionskeramik. Es wird häufig in Branchen wie der elektronischen Abdichtung, Strukturkomponenten sowie hitze- und korrosionsbeständigen Teilen eingesetzt. Hochreines Aluminiumoxid weist eine höhere mechanische Festigkeit und ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit auf und eignet sich zur Herstellung großer Komponenten. Darüber hinaus wird es aufgrund seiner hervorragenden Plasmabeständigkeit häufig in der Halbleiterindustrie eingesetzt, beispielsweise in CVD-Geräten, Ätzgeräten und anderen Komponenten. |
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| ZrO2 |
Zirkonoxid ist ein Material mit hoher mechanischer Festigkeit und Bruchzähigkeit bei Raumtemperatur. Sein Wärmeausdehnungskoeffizient ähnelt dem von Metallen und eignet sich für die Verbindung mit metallischen Werkstoffen. Zirkonoxid hat relativ feine Körnungen, die eine hohe Rauheit ermöglichen. Es weist zudem eine hervorragende Biokompatibilität auf und wird häufig in der biomedizinischen Industrie eingesetzt.
Zirkonoxidkeramiken werden hauptsächlich in yttriumstabilisiertes Zirkonoxid, magnesiumstabilisiertes Zirkonoxid und cerstabilisiertes Zirkonoxid unterteilt, je nach dem zugesetzten Stabilisator. Magnesiumstabilisiertes Zirkonoxid behält bei höheren Temperaturen (600 °C) gute mechanische Eigenschaften. |
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| AIN | Aluminiumnitridkeramiken zeichnen sich durch eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit und Thermoschockbeständigkeit sowie gute Isolationseigenschaften aus. Durch das Flüssigphasensintern und das Fehlen von Zweitphasen an den Korngrenzen ist die Kristallstruktur sehr dicht und weist eine gute Beständigkeit gegen Plasmakorrosion auf. Sie werden häufig als Ersatzteile für Substrate und Halbleiterfertigungsanlagen verwendet. |
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| Si3N4 |
Siliziumnitrid ist eine graue Keramik mit hoher Bruchzähigkeit, ausgezeichneter Hitzeschockbeständigkeit und relativ geringer Durchlässigkeit für geschmolzene Metalle.
Durch Ausnutzung dieser Eigenschaften können sie auf Komponenten von Verbrennungsmotoren wie Automotorteile, Schweißdüsen von Schweißgeräten und insbesondere auf Komponenten angewendet werden, die in rauen Umgebungen wie Überhitzung eingesetzt werden müssen. Aufgrund seiner hohen Verschleißfestigkeit und mechanischen Festigkeit werden seine Einsatzmöglichkeiten in Lagerrollen, Wellenlagern und Ersatzteilen für die Halbleiterproduktionsausrüstung ständig erweitert. |
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| SiC |
Siliziumkarbid ist eine schwarze Keramik, die im Vergleich zu anderen Präzisionskeramiken in Hochtemperaturumgebungen (1000 Grad) einen geringeren Verlust an mechanischer Festigkeit und eine höhere Korrosionsbeständigkeit aufweist. Aufgrund seiner starken kovalenten Bindungen weist es die höchste Härte und ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit unter den Präzisionskeramiken auf. Es verfügt außerdem über gute Gleiteigenschaften in Flüssigkeiten. Aufgrund dieser Eigenschaften wird es häufig in Gleitringdichtungen, Chemikalien, Lagern und anderen Bereichen eingesetzt.
Aufgrund der dichten Sinterung kann eine Spiegelverarbeitung durchgeführt werden, mit hoher Temperaturbeständigkeit von über 1400 Grad, Hitzeschockbeständigkeit, ausgezeichneter chemischer Stabilität und hoher Wärmeleitfähigkeit. Sein hochreines Siliziumkarbid wird häufig als Komponente in Geräten zur Halbleiterherstellung verwendet. |
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